TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。

其安裝簡便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

W型一體式過濾器特點(diǎn)：

.全焊接結(jié)構(gòu)，杜絕泄露過濾面積大，流量系數(shù)高，

.逆流時(shí)，可完成沖洗過程

.閥體和過濾元件全滲透焊接

.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um

.工作壓力可達(dá):414bar(6000psig)

.工作溫度:-28~+482℃

產(chǎn)品參數(shù)