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不銹鋼高壓氣體過濾器在壓縮空氣中的應用案例

作者:燒結過濾器專家 發(fā)布時間:2025-05-28 02:13:38人氣: 來源:金屬燒結過濾器廠家

在電子芯片制造領域,壓縮空氣廣泛應用于光刻、蝕刻、鍍膜等關鍵工藝。這些工藝對壓縮空氣質量要求嚴苛,哪怕是極其微小的雜質顆粒,都有可能導致芯片出現(xiàn)短路、斷路等嚴重缺陷,進而極大地影響芯片的性能和良品率。據(jù)統(tǒng)計,因壓縮空氣質量問題導致的芯片次品率約占總次品率的 20%,給企業(yè)帶來了巨大的經濟損失。因此,確保壓縮空氣的高純度和高清潔度,是電子芯片制造過程中至關重要的一環(huán)。


一、挑戰(zhàn)

某電子芯片制造企業(yè)在其生產線上使用了高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。然而,在實際生產過程中,企業(yè)面臨了以下挑戰(zhàn):

雜質污染:壓縮空氣在生成和傳輸過程中夾帶的灰塵、鐵銹、油霧和碳氫化合物等雜質,嚴重影響了氣體的純度和清潔度。這些雜質會附著在晶圓表面,導致光刻圖案失真、蝕刻不均勻等問題。

設備損壞:雜質進入高精度設備內部,導致設備堵塞、磨損,縮短設備的使用壽命,增加了維護成本。例如,光刻機的精密鏡頭被污染后,需要進行昂貴且耗時的清洗和校準。

產品質量下降:雜質的存在導致晶圓表面出現(xiàn)微小缺陷,影響芯片的性能和良品率。據(jù)企業(yè)統(tǒng)計,未使用高效過濾器時,芯片的次品率高達 15%。

生產效率降低:由于雜質導致設備故障頻發(fā),生產過程中需要頻繁停機維護,降低了生產效率。每次停機維護平均需要 2-4 小時,嚴重影響了生產進度。

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二、解決方案

為了解決上述問題,該電子芯片制造企業(yè)引入了恒歌高純高壓氣體專用過濾器。該過濾器采用先進的粉末燒結濾芯技術,具有以下特點:

整體 316L 不銹鋼結構:堅固耐用,耐腐蝕性強,適用于高純氣體輸送系統(tǒng)。能夠抵抗壓縮空氣中可能含有的腐蝕性氣體,確保長期穩(wěn)定運行。

輕量化、小型化:減少安裝空間,螺紋連接確保密封性,兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格。便于在空間有限的生產線上安裝,同時保證了連接的可靠性。

耐高溫、耐高壓、耐腐蝕:設計壓力高達 50MPa,適用于高壓高純氣體輸送。能夠在高溫、高壓的環(huán)境下正常工作,確保過濾效果的穩(wěn)定性。

過濾效率高:能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物,確保氣體質量。過濾精度可達 0.1 微米,能夠有效攔截絕大多數(shù)雜質顆粒。

安裝與檢修便捷高效:設計合理,易于安裝和維護。濾芯可更換,維護簡便,減少了停機時間。

100% 完整性測試通過:確保每個過濾器的性能和質量。每一個過濾器都經過嚴格的測試,保證了產品的一致性和可靠性。

100% 氨氣泄露檢測通過:確保過濾器的密封性和安全性。能夠有效防止氣體泄漏,保證生產環(huán)境的安全。


三、產品應用過程

設備選型:根據(jù)生產線的需求,選擇了適合的高壓氣體過濾器型號。該過濾器的過濾精度為 0.1 微米,能夠滿足電子芯片制造對氣體純度的嚴格要求。過濾器的設計壓力為 50MPa,能夠承受高壓氣體的輸送,確保系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。

安裝調試:將高壓氣體過濾器安裝在壓縮空氣管道的入口處,確保所有進入生產線的壓縮空氣都經過過濾。調整過濾器的參數(shù),確保其在最佳狀態(tài)下運行。通過多次測試,優(yōu)化過濾器的安裝位置和管道連接方式,以達到最佳的過濾效果。

運行監(jiān)測:在正式投入使用后,定期監(jiān)測壓縮空氣的質量,通過檢測設備檢測過濾后的空氣中雜質的含量。同時,監(jiān)測設備的運行狀態(tài),記錄設備的壓力、流量等參數(shù),確保過濾器的正常運行。

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四、效果評估

空氣質量提升:經過高壓氣體過濾器處理后的壓縮空氣,雜質含量顯著降低,空氣清潔度達到行業(yè)標準。檢測結果顯示,過濾后的空氣中顆粒物含量減少了 95% 以上,油霧和碳氫化合物的含量也大幅降低。

設備運行效率提高:由于壓縮空氣的清潔度提高,氣動設備的堵塞和磨損問題得到了有效解決,設備的運行效率提高了約 30%。設備的故障率顯著降低,減少了因設備故障導致的停機時間。

產品質量改善:在電子芯片制造過程中,壓縮空氣用于光刻、蝕刻和薄膜沉積等多個環(huán)節(jié)。經過過濾后的壓縮空氣,確保了晶圓表面的光滑度和工藝的穩(wěn)定性,產品質量得到了顯著提升。產品的次品率降低了約 40%,提高了企業(yè)的經濟效益。

維護成本降低:由于設備磨損減少,設備的維護周期延長,維護成本降低了約 40%。過濾器的維護簡單,只需定期更換濾芯,降低了維護工作量。


五、客戶反饋

生產經理:“恒歌高壓氣體過濾器的引入,極大地改善了我們生產線上的壓縮空氣質量。設備的運行效率顯著提高,產品質量也得到了保障。我們再也沒有因為壓縮空氣中的雜質而出現(xiàn)設備故障和產品次品?!?/span>

設備工程師:“過濾器的過濾效果非常出色,能夠有效去除空氣中的雜質。設備的磨損明顯減少,維護成本大幅降低。我們對過濾器的性能非常滿意。”

質量控制主管:“使用恒歌過濾器后,我們的芯片良品率從 85% 提升到了 95% 以上,這對我們來說是一個巨大的突破。產品質量的提升,讓我們在市場競爭中更具優(yōu)勢?!?br/>


恒歌高壓氣體過濾器在電子芯片制造企業(yè)中的應用,成功解決了壓縮空氣中的雜質污染問題,顯著提高了壓縮空氣的質量。通過實際應用,該企業(yè)不僅提升了設備的運行效率和產品質量,還降低了設備的維護成本,獲得了顯著的經濟效益。高壓氣體過濾器憑借其高效的過濾性能、穩(wěn)定的運行狀態(tài)和易于維護的特點,成為電子芯片制造中不可或缺的重要設備。


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以上就是關于 不銹鋼高壓氣體過濾器在壓縮空氣中的應用案例 全部內容;

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客戶評價

  • 來自某安徽某機電設備廠的反饋
  • 我們定制批發(fā)采購不銹鋼燒結保護罩,定制要求是:外徑15 高度 40 內螺紋 M12*1.5 顆粒大?。?0-40 微米;恒歌技術團隊非常專業(yè),很快輔助設計圖紙,交貨效率很高,非常棒!
  • 來自河南某機電設備公司反饋
  • 我司采購要求嚴格,需要按照我們要求定制,我司采購定制了一批不銹鋼燒結保護罩,要求精度內螺紋 M12*1.5 顆粒大?。?-20 微米;恒歌技術配合度非常高,不銹鋼燒結保護罩精度很高,完全符合我們定制精度要求。
  • 來自某知名電子半導體工廠的反饋
  • 我們全部是定制微孔粉末不銹鋼濾芯,需要孔徑分布均勻,耐高溫,防塵防水;對工藝要求嚴格,經過多家不銹鋼過濾器對比,最終選擇恒歌科技長期合作,他們不僅產品品質好,技術服務配合很棒!
  • 來自濟寧某過濾機械廠家的反饋
  • 在恒歌定制加工高純高壓金屬過濾器,我要求過濾器濾芯材質不銹鋼,用于氣體氮氣氧氣純化過濾;最終恒歌推薦的316L不銹鋼燒結粉末濾芯,質量非常好,效果滿意!
  • 來自北京某生物制藥公司的反饋
  • 我司采購的是不銹鋼燒結濾網,我們對濾芯要求精度是0.2-0.5um和1-5um;需要按照我們要求定制濾板,并且好清洗;目前已測試打樣符合要求,已開始初步合作!
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