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高壓卡套過濾器
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不銹鋼高純高壓卡套過濾器

  • 不銹鋼工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。
  • 產(chǎn)品詳情

T型卡套過濾器專為半導體領域設計,具備以下特點和優(yōu)勢:

產(chǎn)品特點

● 整體316L不銹鋼結構:堅固耐用,耐腐蝕性強,適用于多種工藝氣體。

● 高通量、低阻力:結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,確保氣體流通順暢。

● 超高顆粒攔截率:精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度,過濾精度高達0.003μm,顆粒攔截效率達99.9999999%。

● 耐高溫、耐高壓:工作溫度范圍為-28℃至482℃,工作壓力可達414bar(6000psig),適用于潔凈室環(huán)境內的制造、測試和包裝。

● 安裝簡便:僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。

● 100%完整性測試與氨氣檢漏測試:確保過濾器的可靠性和安全性。

應用場景

● 半導體制造:用于高純氣體輸送系統(tǒng),確保氣體的超高純度,保障半導體生產(chǎn)的純凈度。

● 潔凈室環(huán)境:適用于潔凈室內的制造、測試和包裝過程,防止微粒污染。

● 實驗室及科研:為高校實驗室、科研檢測單位提供高純氣體過濾,確保實驗精度。

安裝和維護

● 安裝簡便:僅需進行氣路對接與螺母緊固,無需焊接,避免焊接風險,確保密封性。

● 維護便捷:過濾元件易于更換,不需拆卸管路即可清洗和更換濾芯。

T型卡套過濾器憑借其卓越的性能和便捷的安裝維護特點,成為半導體領域工藝氣體凈化的理想選擇。


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