在半導(dǎo)體制造這個對純凈度要求極高的精密領(lǐng)域里，BF 系列大宗氣體專用過濾器的過濾原理猶如一場微觀世界里的精準(zhǔn) “篩選大賽”。

當(dāng)含有各類雜質(zhì)的工藝氣體進(jìn)入到 BF 系列過濾器時，首先面臨的是多柱狀或疊盤狀介質(zhì)所構(gòu)建起的復(fù)雜且有序的過濾通道。這些介質(zhì)就像是一個個精心設(shè)計的迷宮關(guān)卡，氣體分子必須在其中穿梭前行。對于那些尺寸大于 0.003um 的顆粒雜質(zhì)來說，它們就如同體型龐大的 “巨人”，根本無法順利通過這些狹窄且精密的通道。這些雜質(zhì)顆粒會被介質(zhì)表面所吸附或者直接被阻擋在通道入口處，就好像被一道堅固的城墻攔住了去路，只能無奈地被攔截下來，從而無法繼續(xù)在氣體流中 “搗亂”。

而對于一些氣態(tài)雜質(zhì)，比如水分、有機(jī)揮發(fā)物等，過濾器的介質(zhì)則憑借其特殊的物理化學(xué)性質(zhì)與之發(fā)生作用。例如，介質(zhì)表面可能具有一些活性基團(tuán)或者微小的孔隙結(jié)構(gòu)，這些就像是一個個 “陷阱”。當(dāng)氣態(tài)雜質(zhì)分子靠近時，會被這些活性基團(tuán)所吸引，或者被孔隙所捕獲，從而從氣體中分離出來。就如同蒼蠅被粘蠅紙粘住一般，這些氣態(tài)雜質(zhì)被牢牢地固定在介質(zhì)上，使得經(jīng)過過濾后的氣體中此類雜質(zhì)含量大幅降低。

在整個過濾過程中，氣體分子在壓力差的驅(qū)動下持續(xù)地通過過濾器。由于過濾器的巧妙設(shè)計，在確保能夠有效攔截微小雜質(zhì)的同時，又不會對氣體的流通造成過大的阻礙，從而實現(xiàn)了在高流通量下依然能夠保持低阻損的卓越性能。這種精準(zhǔn)的過濾原理，使得 BF 系列過濾器能夠?qū)⒐に嚉怏w中的雜質(zhì)層層剝離，最終輸出超高純度的氣體，為半導(dǎo)體制造工藝提供了極為可靠的氣體純凈度保障，滿足了從芯片的精細(xì)光刻到復(fù)雜蝕刻等各個關(guān)鍵工序?qū)怏w品質(zhì)的嚴(yán)苛要求，成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中不可或缺的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

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