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高壓氣體專(zhuān)用過(guò)濾器:恒歌HF 系列過(guò)濾器!

作者:燒結(jié)過(guò)濾器專(zhuān)家 發(fā)布時(shí)間:2024-12-04 09:36:13人氣: 來(lái)源:金屬燒結(jié)過(guò)濾器廠家

在半導(dǎo)體制造這一微觀且精密的領(lǐng)域中,每一個(gè)環(huán)節(jié)都猶如在鋼絲上行走,容不得絲毫差錯(cuò),而氣體的純凈度與穩(wěn)定性更是關(guān)乎成敗的關(guān)鍵因素之一。恒歌HF 系列高壓氣體專(zhuān)用過(guò)濾器用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。


這款過(guò)濾器以其堅(jiān)固的 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)展現(xiàn)出卓越不凡的品質(zhì)。不銹鋼材質(zhì)本身就具備高強(qiáng)度、耐高溫和耐腐蝕的優(yōu)良特性,在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,無(wú)論是面對(duì)高溫的工藝環(huán)境,還是可能遭遇的腐蝕性氣體侵蝕,它都能傲然挺立,紋絲不動(dòng)。例如在芯片的離子注入工藝中,會(huì)涉及到高溫以及具有腐蝕性的摻雜氣體,恒歌HF 系列過(guò)濾器憑借其不銹鋼結(jié)構(gòu),確保在這樣嚴(yán)苛的條件下依然能夠穩(wěn)定運(yùn)行,保障氣體輸送的安全與純凈。而高達(dá) 50Mpa 的設(shè)計(jì)壓力更是賦予了它強(qiáng)大的承壓能力,足以輕松應(yīng)對(duì)高壓氣體洶涌澎湃的沖擊,確保氣體在輸送過(guò)程中始終沿著既定的軌道穩(wěn)步前行。令人驚嘆的是,在擁有如此強(qiáng)大性能的同時(shí),它還實(shí)現(xiàn)了相對(duì)較輕的重量,這就如同為半導(dǎo)體制造設(shè)備的布局與安裝提供了一把靈活的鑰匙,能夠在有限的空間內(nèi)巧妙安置,大大提高了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度與適應(yīng)性。

高壓氣體過(guò)濾器

HF 系列過(guò)濾器的過(guò)濾能力堪稱(chēng)一絕。它能夠像一位精準(zhǔn)的獵手,高效地捕捉并濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔锏雀黝?lèi)雜質(zhì)。在半導(dǎo)體芯片的微觀世界里,哪怕是一粒極其微小的塵埃,都可能如同一場(chǎng)災(zāi)難,引發(fā)芯片電路的短路或斷路;油霧和碳?xì)浠衔飫t可能像隱藏的叛徒,與工藝氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而改變氣體的純度和性質(zhì),最終導(dǎo)致芯片的質(zhì)量和性能大打折扣。以某大型半導(dǎo)體晶圓廠為例,在其晶圓蝕刻工藝中,使用 HF 系列過(guò)濾器之前,由于氣體中雜質(zhì)的影響,晶圓表面經(jīng)常出現(xiàn)微小瑕疵,導(dǎo)致良率較低。而引入該過(guò)濾器后,成功濾除了氣體中的雜質(zhì),使得晶圓蝕刻的精度和質(zhì)量顯著提升,良率提高了近 20%。在化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝中,對(duì)反應(yīng)氣體的純度要求極高,HF 系列過(guò)濾器憑借其精細(xì)的過(guò)濾機(jī)制和內(nèi)置的優(yōu)質(zhì)濾芯,將這些潛在的威脅一一化解于無(wú)形,成功地保護(hù)了整個(gè)系統(tǒng)免受污染,為氣體質(zhì)量的提升立下了汗馬功勞,也為設(shè)備的高效運(yùn)行鋪就了一條平坦的道路。


此外,濾芯可更換的設(shè)計(jì)無(wú)疑為其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行增添了濃墨重彩的一筆。隨著時(shí)間的推移和過(guò)濾任務(wù)的持續(xù)進(jìn)行,濾芯難免會(huì)因雜質(zhì)的積累而逐漸疲憊,過(guò)濾效率也會(huì)悄然下降。但只需簡(jiǎn)單地更換濾芯,過(guò)濾器就能迅速恢復(fù)元?dú)?,繼續(xù)以昂揚(yáng)的姿態(tài)投入到工作中。比如,在一家半導(dǎo)體芯片封裝廠,HF 系列過(guò)濾器運(yùn)行一段時(shí)間后,檢測(cè)到過(guò)濾效率有所下降,工作人員按照簡(jiǎn)單的操作流程快速更換了濾芯,過(guò)濾器隨即恢復(fù)到最佳工作狀態(tài),整個(gè)過(guò)程耗時(shí)極短,不僅大大降低了設(shè)備的停機(jī)時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率,還顯著降低了整體的運(yùn)營(yíng)成本,使得 HF 系列高壓氣體專(zhuān)用過(guò)濾器成為半導(dǎo)體企業(yè)在高壓氣體凈化領(lǐng)域的不二之選。


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