高純氣體系統(tǒng)用氣體過濾器，是依據(jù)碰撞、擴散和截獲機理將氣體中粒子過濾掉的裝置。以下是對其的詳細介紹：

一、作用與重要性

在超高純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子，應在閥門和配件下游和使用氣前安裝過濾器。這在高純氣體系統(tǒng)中尤為重要，因為集成電路發(fā)展到兆位級后，對超凈提出了更嚴格要求。例如，SEMI標準對10011級以管道供給的氮和氬氣中規(guī)定≥0.1μm粒子≤0.4個/L;16MDRAM用氣中>0.1μm的粒子<1個/L。

二、選型與規(guī)格

粒子過濾器的選型及規(guī)格視氣體控制規(guī)范而定。過濾器殼體一般采用316不銹鋼，濾芯有燒結的多孔金屬濾芯、耐腐蝕耐熱的鎳基合金、100%鎳合金、鋁陶瓷、Teflon膜、陶瓷膜等。

三、應用場景

高純氣體系統(tǒng)用氣體過濾器廣泛應用于各種需要高純氣體的場合，如半導體生產(chǎn)、集成電路制造、生物醫(yī)藥、食品加工、實驗室等。在這些場合中，氣體中的微小粒子可能會對產(chǎn)品質量、生產(chǎn)效率或人員健康造成嚴重影響，因此需要使用高純氣體系統(tǒng)用氣體過濾器來確保氣體的純凈度。

四、品牌與供應商

市場上存在多個知名品牌和供應商提供高純氣體系統(tǒng)用氣體過濾器，如恒歌等。這些品牌和供應商通常具有豐富的經(jīng)驗和先進的技術，能夠為客戶提供高質量、可靠的氣體過濾器產(chǎn)品和解決方案。

五、價格與維護

高純氣體系統(tǒng)用氣體過濾器的價格因品牌、型號、規(guī)格等因素而異。一般來說，高品質、高性能的氣體過濾器價格相對較高。同時，為了確保氣體過濾器的持續(xù)有效運行，需要定期進行維護和更換濾芯等操作。這些操作可能會增加一些額外的成本，但相對于因氣體污染而造成的損失而言，這些成本是值得的。

正確選擇和使用氣體過濾器可以確保氣體的純凈度，提高產(chǎn)品質量和生產(chǎn)效率。因此，在選擇氣體過濾器時，需要綜合考慮多個因素，包括氣體控制規(guī)范、濾芯材質、應用場景等，以確保選擇到最適合自己需求的氣體過濾器。

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