半導(dǎo)體制造的氣體輸送系統(tǒng)如同 “精密血管網(wǎng)絡(luò)”，從集成氣體輸送(IGS)面板到高壓氣體箱，不同節(jié)點對過濾的需求千差萬別。恒歌科技微電子半導(dǎo)體過濾器系列以 “場景化設(shè)計” 為核心，用 SF、HF 等系列產(chǎn)品實現(xiàn)全場景精準(zhǔn)適配。

針對 IGS 面板的集成需求，SF 系列 IGS 面板專用過濾器展現(xiàn)出 “小而精” 的優(yōu)勢。其緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)，不占用多余空間，卻能實現(xiàn) 0.003μm 級過濾精度，保障 9-LRV 清潔度 —— 這意味著每升氣體中的微粒殘留可控制在極低水平。同時，它兼容 C 型和 W 型密封規(guī)格，支持 100slpm 大流量，無論是新建系統(tǒng)還是設(shè)備升級，都能快速集成，大幅降低改造成本。

而在高壓氣體輸送場景中，HF 系列高壓氣體專用過濾器則以 “強而穩(wěn)” 立足。它以 50Mpa 設(shè)計壓力適配高壓系統(tǒng)，316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)在高壓下仍能保持密封性，同時通過高效過濾介質(zhì)攔截塵埃、油霧等雜質(zhì)。更關(guān)鍵的是，其輕量化設(shè)計減少了安裝承重壓力，螺紋連接方式讓檢修時的濾芯更換更便捷，避免高壓系統(tǒng)因維護(hù)復(fù)雜導(dǎo)致的停機風(fēng)險。

無論是 SF 系列的 “模塊化集成” 還是 HF 系列的 “高壓適配”，恒歌科技的設(shè)計始終圍繞兩個核心：一是滿足 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的兼容性，確保與現(xiàn)有系統(tǒng)無縫對接;二是通過全金屬結(jié)構(gòu)與嚴(yán)苛測試(如 100% 氨氣檢漏)保障長期可靠性。這種 “按需定制” 的思路，讓過濾器不再是系統(tǒng)中的 “附加組件”，而是提升整體穩(wěn)定性的關(guān)鍵一環(huán)。

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